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电子半导体净化车间工程--昆山清阳净化工程
社会信息化和互联网正在对人类经济和社会生活产生革命性影响， 而半导体产业则是互联网和信息化的基础和核心。 进入21世纪，信息产业已成为世界经济中规模最大、发展最为迅猛的产业。2001年初在瑞士达沃斯召开的“世界经济论坛年会”上，许多经济学家认为，人类正在进入以信息网络为核心的“新经济”时代。 所谓“新经济” 的概念， 源于“网络经济”的出现，而“网络”是以计算机和通讯为依托的，其生存和发展的每一步都离不开半导体芯片技术的支持与更新。谁拥有了半导体产业，谁就拥有了世界的未来。 因此，发展半导体产业对我国来说具有重要的战略意义。 但是， 我国半导体产业起步较晚， 不但技术水平落后， 在管理上也存在很大的空白。 在寻求技术革新的同时， 有效提高生产制造过程的管理水平，探索技术与管理相结合的发展道路， 将是积极推动我国半导体产业发展的有效途径。
半导体洁净厂房是公认生产管理最为复杂的工厂之一，因为其生产过程有许多异于传统的工艺特性，例如工件再回流的现象、成批加工、作业等候时限、高良率要求、机台高当机率等，以致于一般都将交期不准、 在制品过高、周期时间过长等问题归咎于其生产管理的复杂度高及系统的不稳定。同时，晶圆制造属于资本密集型产业，其设备投资庞大， 运作成本高昂，使得投资者极为重视投资效益，不愿任何一台设备闲置而浪费产能，于是不断追求所有设备的完全利用，其绩效指标的追求除了交期、 WIP及周期时间外，还要求机台的使用率。这些显然已经不是技术层面上可以解决的问题，而是生产制造过程管理的问题 。
生产制造过程的管理按其内容可分为生产系统的性能评价、生产计划和车间层控制。这几个问题是相互关联的，性能评价是评估现有系统（配置固定）的性能，而不是优化系统性能的某些指标，它常评价不同设备配置及瓶颈设备附加能力对生产线的影响，是生产计划、车间层控制的重要输入，也是优化系统配置的主要指导。 生产计划一般指高层长期生产能力的安排和分配。车间层控制是生产计划的细化和实现，它将基于能力的较长期计划转化为实际工件的实时加工序列。一般来说， 车间层控制有两类决策任务： 一类是决定何时投入多少工件进入生产线，称为投料策略，它涉及生产速率、生产能力现状、实际定单情况、WIP情况等问题，常和实时调度处理统筹考虑。 另一类是安排生产线中各类工件在各类设备上的实际加工序列和开始时间，称为实时调度策略， 它涉及实时设备状况、实时WIP情况以及产品的工序流程。本文对半导体晶圆制造车间层控制的内容和方法作一介绍。
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