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洁净室高效过滤器捡漏方法-清阳工程

2023-03-13 11:42 昆山清阳净化系统工程有限公司

高效过滤器常见的一种净化设备，主要用来净化和过滤进入车间内的空气，以此达到车间洁净的目的，所以对这种设备的捡漏也是很重要的。这篇文章讲讲洁净室高效过滤器捡漏方法。

 

高效过滤器本体在进入现场前生产厂家应按规定进行性能实验检测（如DOP实验等），对于5级（100级）以上洁净室所使用的高效过滤器，在现场应再次进行高效过滤器本体的性能检测，同时进行检漏试验以确认高效过滤器是否正确安装。在大规模集成电路生产的超洁净技术中（如0.1µm，1级），由于新风量往往仅是循环风量的百分之几，经过稀释上风侧也变成6级（1000级）的程度，因此，在这种情况下，就必须重新考虑采用DOP检漏试验。

 

检测要求。一般采取粒子计数器法进行检漏，被检高效过滤器必须已检测过风量，并在设计风速的80%～120%之间进行。对于被检高效过滤器上风侧的微粒浓度符合下列要求：

对受控微粒≥0.5m的浓度，≥3.5×104pc/L；

对受控微粒≥0.1m的浓度，≥3.5×106～3.5×107pc/L。

采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测，检测点应距被测表面20～30毫米，测头以5～20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描，粒子计数器的最小采样量大于1L/min。

 

洁净室高效过滤器的的捡漏一般是通过检测设备来进行的，常见的主要有这三种：光散射粒子计数器、激光粒子计数器、凝聚核粒子计数器。每种设备都有其自身的优缺点，我们在选择设备的时候要结合车间的实际情况去选择。

 

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