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半导体净化厂房装修工程概况

2020-12-23 08:28 昆山清阳净化系统工程有限公司

半导体净化厂房装修工程概况

 一、 工程概况

本工程是国芯半导体建设项目, 工程位于昆山市, 总建筑面积约 8000 平方米, 洁净厂房面积约 3500平方米, 本次招标为上述工程所属的净化及安装工程, 包括工艺设备安装工程、 电气工程、 工艺冷却水工程、 净房空调工程、 净房工艺排风、 洁净室围护结构、 PVC 地板等。

二、 主要专业概况

(一) 净化空调系统: 本工程净化厂房面积约3500平米,冷源由独立的冷水机组提供, 热源则由蒸汽锅炉提供。 风系统为粗、 中、 高效三级过滤, 风管采用镀锌钢板制作, 橡塑保温材料保温。 水系统管径大于 200mm 的采用螺旋钢管焊接, 大于 100mm 的采用无缝钢管焊接, 小于 100mm 采用镀锌管螺纹连接, 橡塑保温材料保温。 蒸汽管道采用无缝钢管焊接, 离心玻璃棉材料保温,外包铝箔。

(二) 工艺管道系统: 本工程热排风管道采用镀锌钢板; 压缩空气管道采用 SUS304 不锈钢无缝管管, 不锈钢球阀; 工艺真空管道主管采用 PVC SCH80管, ; 高纯氮气采用进口 SUS304 不锈钢无缝管, 工艺冷却水采用镀锌管道。

(三) 电气系统: 本工程车间照明干线、 支线等采用铜芯塑料线穿电线管沿吊顶内、 墙、 楼板暗敷设。

(四) 洁净室围护结构: 本工程车间隔间立板、 天板结构与龙骨、 气密性、 洁净等施工。

(五) 地板防尘防蚀与荷重: 本工程车间 PVC 导电地板、 洁净等施工。

(六) 净房达标测试: 依据 FED-STD 209E 的标准, 对施工完成的净房进行竣工测试。

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