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电子半导体洁净厂房内是如何防静电的
一直以来接到不少客户对生产车间进行防静电防护改良咨询，现跟大家分享一下多年来的经验，但愿这些方案能给大家带来帮助，如有不足之处请来电商讨。
一、 防静电目的：防止静电放电对 ESD 器件的损伤。表现在如下几个方面：
- 静电放电 (ESD)引起发光二极管 PN 结的击穿，是LED器件封装和应用组装工业中静电危害的主要方式。
- 静电放电可能造成 LED突发性失效或潜在性失效。
- LED极为精细，失效分析难度大，使人容易误把静电损伤失效当作其它失效 ,从而不自觉的掩盖了失效的真正原因。
- ESD以极高的强度很迅速地发生，放电电流流经LED的PN结时，产生的焦耳热使芯片PN两极之间局部介质熔融，造成PN结短路或漏电。
二、 无尘车间内防静电系统的建立：
硬件系统：
－ 人体静电防护：人体配有绳防静电腕，良好接地，每天定期测试有效性能。检查静电腕与人体皮肤良好接触， 接地端与地线良好接触。
－ 设备静电防护 : 机台、设备、工具良好接地线（不可与人体静电地线共用，防止机台、设备、工具漏电电击人员） 。
－ 设立 EPA 防护区 :
防静电区设计原则抑制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用塑料、有机玻璃、普通塑料袋。
1 . 安全、迅速有效地消除已产生的静电荷，使用有绳防静电腕防静电椅、车、箱。
2. 地面 防静电地面，(防静电水磨石， 防静电地板 )1 0^5 Ω ～ 1 0^1 0 Ω ， 敷设地线网。
3.工位 台面、 工作椅、 凳面应采用 ESD 保护材料。
4. 人体 穿防静电服、 鞋、 腕等 (1 M) 。
5. 电子洁净车间内接地设置：
a、 防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，地电阻小于4。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，使用三相五线制的供电时，其地线可以作防静电地线。
b、 工作台面、地板垫、坐椅、凳和其它导静电的 ESD 保护措施均应通过限流电阻接到地线，腕带等应通过工作台顶面接地点与地线连接， 工作台不可相互串联接地。
c、 防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流能力，限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过 5mA，下限值取为 1 M Ω 。
6. 环境：空气湿度的控制，小于60%时，须加强防静电操作系统。工作台面防静电桌布良好接地，定期检查有效性。
7. 电离器：不能有效地泄放静电荷的场合，可采用电离器通过空气中的正负离子来防止和中和元器件和其它物体上电荷 积累，电离能力大于250V/s。
8. 增湿：增湿器可使潮湿空气流，防止静电荷积累，此法不适；增湿后产生有害影响的场地。
9. 包装：静电敏感器件应采取保护性包装；静电敏感器件包装器具必须采用防静存放盒， 防静电塑料袋。
1 0. 运输、贮存 SSD必须放在防静电容器 (箱、袋 )内，并用防静电运输工具(车)。库房满足防静电操作系统要求，SSD须放防静电容器内，贮运中要远离静电，电磁场或放射场的位置。
1 1 、SSD 元器件应分类拿放，静电敏感符号符号符合 GJB1649 规定。
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