电子洁净厂房装修系统测试

2020-11-03 13:10 昆山清阳净化系统工程有限公司

电子洁净厂房装修系统测试

随着高科技电子相关产业之蓬勃发展，洁净厂房装修已成为电子半导体制程工业、精密切削、生化科技、医疗及食品工业等不可或缺之重要部分。

洁净厂房装修测试项目简述

FFU 风速测试

目的：测量C/RHEPA 下方平均风速是否合乎标准要求，以利C/R 内Airflow 达到平行性及均一性。

测量点：每个1170* 1170mm HEPA 测4 点取其均值。测量步骤：a.预先调整马达之转速，使符合ULPA 之出风速度。b.C/R 内之FFU 全部运转，天花盲板应全部盖上，各区域隔间皆需完成。c.将风速Sensor 固定于移动支撑架上方，高度调整至距HEPA 下方 75MM 处。d.移动Sensor 至待测HEPA 下方测量点位置，待稳定后取5sec 风速平均值。e.打印记录值及计算平均值。

测量标准：a.单点均值 0.35m/S±20%。b.每只HEPA 平均风速0.35m/S±20%。

FFU 泄漏测试

目 的：检测每只filter 过滤性能。

测试点：每只filter 下方约 2.5cm 位置以 5cm/sec 之速度移动。

洁净厂房装修后测量步骤：a.C/R 内之送风系统全数运转，且建立正压，内部清洁完成后，循环运转24 小时以上。b.将PARTICLE COUNTER 暖机并完成基本参数设定。c.开始量测filter 下方之PARTICLE数量。扫描泄漏时，若该点连续出现particle 则判定为泄漏。扫描中若出现第一颗particle，应停留该点判断是否连续出现，若非连续则为HEPA 表面或环境之particle，如大于5 颗则该片重测。有泄漏之HEPA 在漏处贴上卷标及数据域内记录泄漏、编号、位置。破损面积＜3%；长度＜1.5”  可修补；大于此值则更换。

测试标准：每只filter 不得有泄漏。

洁净厂房洁净度测试

目 的：测量C/R内之清净度度是否达到标准要求。

测量点：a.量测高度为距地板1.0m；或特定之工作高度。b.各 区域量测点数： CLASS 10：每房间面积平方根取测量点；CLASS 100：每房间面积平方根取测量点；CLASS1000/10000：每房间面积  平方根取测量点测量。

测量步骤：a.C/R 内之FFU 全数运转，且建立正压，内部清洁完成后，循环运转24 小时以上，且人员物料进入C/R 需管制、清洁。b.将PARTICLE COUNTER暖机并完成基本参数定。c.将仪器测试管固定于三脚架上。d.统计平均值，判断是否合乎无尘室之要求。

测试标准 ：a.CLASS 10：≧ 0.3üm 小于 10 颗 /ft3 ； b.

CLASS100：≧0.5üm 小于100 颗/ft3 ；c. CLASS1000：≧0.5üm 小于 1000 颗 /ft3 d. CLASS 10000： particle size≧ 0.5üm 小于10000 颗/ft3。

洁净厂房室内静压测试

目的：测量无尘室对邻室；无尘室对大气之间压差是否符合准。

测量点：每ROOM 至少取1 点测量点。

测量步骤：a.必须完成风速与气密测试合乎设计要求；确认自动控制之MAU  及制程排气系统开始正常运作才可进行。b.进行量测时间内,门必须关闭及管制。c.C/R内为高压端，外气或次等级之邻室为低 压d.   进行量测前，仪器需先做现场归零校正后再进行测量。e.实际测量，量取数次，取平均值并记录之。f.  不合规格者，通知施工组配合改善后重测。

测试标准：a.不同无尘室等级之压差不小于+5pa。b.一般区域 与无尘室区域之压差不小于+12.5pa。

室内温湿度测试

目的：测量C/R内之温度、相对湿度是否达到要求。

测量点：测量点为1 点/100m2 或2 点/ROOM。

测量步骤：a.洁净厂房装修空调系统在自动控制状态下，连续运转24  小时以上。测量前，无尘室空调之试车调整需已完成。b.每个点的测量 时间为温度 10 sec，湿度 10 sec。c. 测量时，人员应避免直接碰触Sensor，以免造成量测误差。d.测量时，需等到Sensor   达稳定后，才可取值。e.每一室至少取一点。

测试标准：依合约及标准规范设计要求。

黄光 10 级区域温度 22℃±1，其它温度 22℃±2，微波区湿度

45%±5.LED 区50%±5。

噪音测试

目的：测量C/R内之噪音产生值。

测量点：a.按房间面积为 1 点/40m2。b. 每个独立房间皆需测量。c.量测点的高于无尘室地板上方1.0m。

测量步骤：a.依据测量点将噪音计架设完成及开始测量。b.每一 点之测量时间22sec 并读取dB 平均值并记录之。

测量标准：噪音值按相关洁净室标准。

照度测试

目的：测量C/R内之照度是否合乎标准要求。

测量点：a.按房间面积/50m2 为 1 点。b. 每个独立房间皆需测量。c.量测点的高于无尘室地板上方1.0m。

测量步骤：a.取照度仪于离地1.0M 处待测试数据稳定值。b.测量及记录测量值。c.计算每区域之平均照度。

测试标准：依合约规范设计要求。本工程照度应按发包图面布 置要求大于：600LUX，500LUX，400LUX，300LUX。

平行度测试

新风及排风测试

结论

经过现场系统调整及实际测量，符合洁净厂房装修相关要求，取得业主认可。