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洁净室装修完毕后，清洁也是很重要的，通常都需要对其进行一个彻底的清洁，只有这样才能确保车间的洁净度达到要求和标准。
以Ａ⇒Ｂ⇒Ｃ⇒Ｄ⇒Ｅ的顺序、从上往下进行清扫、从里往外清洁、朝一个方向清洁。
A：楼承板及天花板上梁清扫：
利用洁净无尘布清除尘埃；
采用纯水浸润的无尘布对房梁、吊顶螺栓进行清洁，手无法触及之处使用拖把蘸取纯水反复擦拭。
注意事项：将盛有纯水的容器移至天花板内，用无尘布蘸湿后拧干进行擦洗，确保梁上不留任何痕迹。
B：楼承板及天花板上设备机器清扫
彻底撕除保护膜，并用无尘布扫除积尘；
使用纯水浸透的无尘布清洁配管、管路、线缆桥架等，手无法触及的部分，使用拖把蘸取纯水至少擦拭一遍。
注意事项：将装有纯水的容器带入天花板内，用无尘布蘸湿后拧干进行清洁，确保配管等上无残留痕迹。
C：楼承板及天花板清扫
清除垃圾，使用拖把进行初步清洁⇒在楼承板及天花板上用纯水进行深度擦拭，将装有纯水的容器带入天花板内，用无尘布蘸湿后拧干进行擦洗，确保天花板上无痕迹。
D：楼承板及天花板下设备机器清扫
彻底去除保护膜，电器设备接触部分用干燥的无尘布进行擦拭，其他配管、管路、桥架等则使用纯水进行清洁。
E：地板清扫
首先撕去保护膜⇒清理垃圾，使用清扫机进行初步清扫，随后用无尘拖把进行深度清洁⇒最后使用纯水进行擦拭以完成地板的清扫（对于顽固污渍，使用专用喷雾剂进行处理）⇒待其干燥。
柱子及阀门用清水擦拭，墙壁的铝蜂巢板则采用擦拭的方式进行清洁。生产盘由相关单位负责进行干燥擦拭清扫（对于柱子，事先能够清扫的部分应先行清扫）。
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