洁净室温湿度异常分析与改善

2022-10-26 11:13 昆山清阳净化系统工程有限公司

某半导体企业无尘车间出现了温湿度异常，怎么去分析与改善这种情况呢？今天清阳小编带大家了解一下半导体洁净室温湿度异常分析与改善；

某半导体无尘车间厂务值班室4月以来接组装西区产线电话,反馈个别区域温度偏高。值班人员分别作以下动作：进线调节风阀；调整AHU送风温度；调整AHU频率；检查回风等动作。现对改善效果及日常洁净室温湿度控制问题分析方法及节能运行状况进行汇总分析，以提升运行值班人员处理问题效率和节约洁净室空气调节运行能耗。

实际测试数据如下：

如上述统计可以看出位于组装西区靠近组装办公室的区域温湿度比较差一直处于超标状态，并且之前的温湿度调节改善动作有效性比较差。该问题在滁州厂区洁净室环境控制具有代表性,故作分析如下供参考:

   

原因分析	效果确认	影响	责任人
A外气温度偏高低	外气温湿度无剧烈变化	小
B热水温度	热水温度35-40℃	小	运行值班
C冷冻水温度	冷冻水温度7-12℃	小	运行值班
D高效滤网	待测试风速确认是否堵塞,无风量	大	TXW
E调节MAU湿度设定	送风温度14℃，湿度94%	小	运行值班
F调节AHU温度设定	送风温度16.5℃	小	运行值班
G温湿度传感器	定期比对	小	运行值班
H送风阀门	需要通过风速测试后确认是否开启正确	大	运行值班
I AHU/MAU	组装区域AHU/MAU已经全部开启至满负荷状态，存在容量缺口	大	工程改造
J回风滤网	定期检查清洗	大	运行值班
K回风是否通畅	1.回风墙侧无堵塞 2.产线中部区域远离回风口，确实有空气流通不畅状况	小 大	运行值班 维修
M温湿仪量测	使用厂务现有温湿仪进行量测，	小	运行值班
N 员工技能	温湿度调节由值班长和能管员进行调节	小	运行值班

针对影响大的4种原因的确认和纠正措施：

一.送风阀门的开启确认：经过在夹层检查确认目前送风阀门有以下几种状况：

状况1．风阀开启状况不在开的位置，阀芯开启状况待确认风量。

状况2.开启过度：从外观来看阀门处于过度开启位置，阀芯状况如何需要量测风量确认

状况3.阀门表观看上去是在关闭位置，先调整到开启位置，再确认送风量。

二. 高效滤网堵塞：

现象:在确认风阀开启正常状况下，用风速仪测试风速比较低，或没有风速，此种状况多数为高效堵塞或吊柜机组运行异常。

针对以上四种状况纠正措施：

请购风速仪对洁净室的高效出风口逐台测试风速。找出风速低的风口，通过对讲机通知夹层的人员确认风阀的开启状况。调整后做好标识，便于后续的检查操作。

存在另一种状况：风阀开启调节没有效果。产生此状况原因分两种：

A 风阀阀芯脱落，改善措施：需要拆卸阀门维修。

B 高效堵塞，需要拆卸后检查更换确认。

纠正措施：

通过更换高效并对比更换前后风速并做好记录保存作为资料供后续参考。

三．回风是否通畅

        现象1：

     建厂初期设计的回风通道因设备布局和房间的布局调整，已经影响或堵塞导致回

     风不顺畅。导致局部区域温度调节能力减弱。影响环境温度和洁净度。

回风滤网堵塞,回风不畅导致区域温湿度异常.现场测试发现组装西北侧回风堵塞严重,正常回风风速:>2.3m/s;

三.回风是否通畅

纠正措施：

A定期检查清洗回风滤网

B不影响生产情况下移开挡塞物或设备

C确认是否有预留回风地道，安装调整回风地板

D必要时改建安装回风道

四.AHU/MAU

现象：

组装西区空调箱由AHU-2-28；AHU-2-29；AHU-2-30；AHU-2-31；AHU-2-32；AHU-2-34；AHU-2-38及新风机组MAU-2-15组成，风机频率已经全部开启到满频。系统容量已经满负荷运转对洁净室环境温度调节只能依靠调整冷冻水温度维持，增加了冷冻机运行能耗。为此组装西区安装了吊柜式空调箱弥补AHU/MAU容量不足。从实际效果来看略有改善没有彻底解决组装西区冷负荷容量不足问题。

改善措施：

AHU/MAU调节检查确认内容如下：

A冷冻水阀门开启状况,冷冻水阀门开启不足将导致冷盘温度调节能力下降.

B冷冻水过滤器是否堵塞

C冷盘是否结垢,结构影响制冷量

D初中效是否堵塞,堵塞影响送风量,导致空调箱体静压过高,增加风机负荷浪费电力

E空调箱进回风阀门开启确认

F MAU表冷、加热、预热、再热温度设定是否合理（在后面另单独分析），如设定有冲突将导致  加湿效果差，同时增加电力、蒸汽能耗。

G 吊柜式空调箱风阀开启状况；冷冻水阀门开启装开启状况；冷冻水Y过滤器是否堵塞。

五：洁净室温湿度调节原理及MAU湿度调节与节能

A组装西区洁净室温度调节是：

AHU循环机组将洁净室的空气通过回风通道回收至总管进入AHU混合U处理过的新风，

通过表冷器翅片和经过表冷器的冷冻水进行冷热交换，通过风机加压后经送风管、

高效过滤器（HEPA）送入洁净室。

序号	纠正措施	改善前	改善后	完成日期	责任人	确认结果
1	高效滤网风量测试	部分风速无或<0.4m/s	待更换
2	送风阀门开启状况确认	部分故障或未开启	已开启
3	回风是否通畅	部分堵塞回风风速 <2.5m/s	回风风速 >2.5m/s
4	AHU/MAU状况检查	待进行
5	异常原因分析及节能运行资料整理及培训	资料已整理待培训

清阳工程是一家专业净化工程公司，16年专业建设无尘车间、净化车间、洁净厂房、gmp车间、无菌车间，我们拥有专业二级施工资质和专业的设计施工团队，并且有过400多家净化工程的成功案例，经验也是很丰富的。电子无尘车间是我们做的比较多的一个行业，涉及各种产品和洁净度，所以找我们还是具备比较多的优势的。联系方式：在线客服或电询18915730122，我们期待您的洽谈合作。