万级洁净室要求-清阳工程

2025-05-09 11:59 昆山清阳净化系统工程有限公司

 

万级洁净室（对应ISO 14644 - 1标准中的Class 8）在电子、半导体、医药等对生产环境要求高的领域，扮演着不可或缺的角色。

 

一、洁净度与空气净化

 

1. 空气洁净度

 

- 颗粒物浓度标准：依据ISO Class 8标准，万级洁净室内空气中≥0.5μm颗粒物浓度必须严格控制在≤3,520,000个/m³ 。这一标准如同为室内空气的洁净程度划定了一条清晰的红线，确保生产环境免受过多颗粒物的干扰。

 

- 换气次数与洁净度维持：换气次数不少于20次/小时是保持室内空气洁净的重要手段。高效送风系统持续工作，将室内空气不断置换，如同为洁净室注入新鲜、洁净的“血液”，从而维持规定的洁净度水平。

 

2. 空气过滤系统

 

- 三级过滤组合：由初效（G4）、中效（F8）、高效（HEPA H13/H14）过滤器组成的三级过滤系统，是洁净室空气净化的核心防线。它们如同层层滤网，对空气中的颗粒物进行逐一拦截，针对0.3μm颗粒的过滤效率高达≥99.97%，确保进入洁净室的空气近乎纯净。

 

- 气流组织优化：采用顶送侧回或垂直层流的气流组织方式，精心规划空气的流动路径。这种设计有效避免了涡流和死角的出现，使气流能够均匀地在室内流动，确保洁净空气覆盖到每一个角落，防止污染物在局部积聚。

 

二、结构设计与材料

 

1. 墙体与顶棚

 

- 材料选择：彩钢板（岩棉夹芯，厚度≥50mm）、不锈钢或防静电涂层金属板是常见的墙体与顶棚材料。岩棉夹芯彩钢板兼具良好的保温隔热性能与结构强度，不锈钢和防静电涂层金属板则在耐腐蚀和防静电方面表现出色。接缝处使用中性硅胶密封，如同为墙体和顶棚打造了一层紧密的“保护膜”，防止灰尘和微生物的侵入。

 

- 表面特性要求：墙体与顶棚表面需光滑、无缝隙，这样的设计使得灰尘和微生物无处附着，易于清洁。同时，具备耐腐蚀特性，能够应对生产过程中可能产生的化学物质侵蚀，保证结构的长期稳定性和洁净度。

 

2. 地面系统

 

- 材料特性：防静电环氧自流平（厚度≥2mm）或PVC地板（表面电阻10⁶ - 10⁹Ω）是万级洁净室地面的理想选择。它们不仅耐磨，能够承受频繁的人员和设备走动，防滑性能保障了人员的安全，而且不起尘，有效避免了地面产生的灰尘对室内环境的污染。

 

- 平整度要求：地面坡度控制在≤0.1%，确保地面排水顺畅，避免积水滋生微生物。接缝处无缝焊接，进一步减少了灰尘积聚的可能性，维持地面的整体洁净。

 

三、温湿度与压差控制

 

1. 温湿度范围

 

- 具体范围设定：温度控制在20 - 25℃，且波动范围在±1℃ ；湿度保持在45% - 60%，波动范围为±5%。这样精确的温湿度范围设定，是为了满足生产过程中对环境的严格要求。

 

- 控制目的：适宜的温湿度条件能够有效防止静电积累，避免静电对电子元件等产品造成损害。同时，防止设备因湿度不当而发生腐蚀，以及抑制微生物在适宜温湿度环境下的滋生，从而保障生产设备的正常运行和产品质量的稳定性。

 

2. 压差管理

 

- 压差标准设定：洁净区与非洁净区之间的压差需≥10Pa，洁净区内部相邻区域压差梯度≥5Pa 。这样的压差设置形成了一道无形的“空气屏障”，使得空气只能从洁净度高的区域流向洁净度低的区域，有效防止污染物的侵入。

 

- 压差监控措施：通过安装压差传感器并联动报警系统，实时监测压差变化。一旦压差出现异常，报警系统立即发出警报，提醒工作人员及时采取措施进行调整，确保洁净室的压差始终维持在规定范围内。

 

四、微生物与污染防控

 

1. 微生物控制

 

- 微生物指标与消毒措施：万级洁净室内细菌总数需≤100 CFU/m³ 。定期使用紫外线灯或臭氧进行消毒，如同为洁净室进行定期的“深度清洁”，有效杀灭空气中和物体表面的微生物，确保微生物数量始终处于可控范围。

 

- 检测频率：每周至少进行1次表面微生物检测，及时掌握微生物污染情况。通过定期检测，能够尽早发现潜在的微生物污染问题，以便采取针对性的措施进行处理，防止污染扩散影响生产。

 

2. 人员与物流管理

 

- 人员进入流程：人员进入万级洁净室前，必须经过风淋室，且吹扫时间≥15秒。风淋室通过高速气流吹去人员身上附着的灰尘和微生物，如同为人员进行一次“全方位清洁”。同时，人员需穿戴连体无尘服、口罩、手套及洁净鞋，确保进入洁净室的人员自身符合洁净要求，不会带入污染物。

 

- 物料传递方式：物料通过传递窗（机械互锁）或气闸室进行传递，并在进入前进行消毒处理。这种设计有效避免了物料传递过程中的交叉污染，保证物料在进入洁净室时不会将外界的污染物带入，维持洁净室内的洁净环境。

 

五、施工与验收

 

1. 施工要点

 

- 密封处理：墙体、门窗接缝处的密封处理至关重要，气密性需≤0.5Pa/m² 。施工过程采用无尘工艺，如使用吸尘器及时清理施工产生的灰尘，对易产生扬尘的区域进行封闭处理等，从施工源头减少灰尘对洁净室的污染，确保建成后的洁净室具备良好的密封性，防止外界污染物进入。

 

- 防静电接地：地面铺设铜箔网，并确保接地电阻≤1Ω 。这一措施能够有效将静电导入地下，防止静电在地面积累，避免因静电引发的安全事故和对产品的损害，为洁净室的生产活动提供安全保障。

 

2. 验收标准

 

- 洁净度检测：使用激光粒子计数器对室内颗粒物浓度进行检测，验证其是否符合ISO Class 8标准。这是对洁净室洁净度的直接检验，确保建成后的洁净室满足生产所需的空气洁净要求。

 

- 系统测试：对空调系统的风量、温湿度稳定性、压差梯度等关键指标进行连续48小时的监测。只有当这些指标在规定时间内持续达标，才能证明洁净室的各项系统能够稳定运行，为生产提供可靠的环境保障。

 

六、运行维护

 

1. 日常维护

 

- 过滤器更换：根据不同过滤器的性能和使用情况，制定合理的更换周期。初效过滤器每3个月更换一次，中效过滤器每6个月更换，高效过滤器每12 - 18个月更换。定期更换过滤器能够保证空气过滤系统始终保持高效的过滤性能，持续为洁净室提供洁净的空气。

 

- 地面清洁：每日使用无尘拖把搭配防静电清洁剂对地面进行擦拭，及时清除地面上的灰尘和污渍，同时防止静电积累。这种日常清洁工作有助于维持地面的洁净度和防静电性能，保证洁净室地面始终符合生产要求。

 

2. 智能化升级

通过部署SCADA系统，对洁净室的洁净度、温湿度及压差等关键参数进行实时监控。一旦出现异常数据，系统自动报警，提醒工作人员及时采取措施进行调整。智能化升级使洁净室的运行管理更加高效、精准，能够及时发现并解决潜在问题，保障洁净室长期稳定运行。

 

通过严格遵循以上要求，万级洁净室能够有效控制微粒、微生物及温湿度波动，为电子、半导体、医药等领域的高精度生产提供稳定可靠的环境。在具体实施过程中，需紧密结合行业规范（如GMP、ISO 14644）及企业SOP进行优化，以满足不同生产场景的特定需求。

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